Учебное пособие предназначено для магистрантов направления подготовки «Электроника и наноэлектроника», «Прикладная математика и информатика» и аспирантов, специализирующихся в области технологий интегральной электроники и математического моделирования технологических процессов микро- и наноэлектроники. В учебном пособии подробно рассмотрены методы построения математических моделей эрозии поверхности твердых тел при ионном распылении, основанные на подходах П. Зигмунда. Приведены три основные модели эрозии поверхности и исследованы их состояния равновесия. На примере этих моделей показано, как при потере устойчивости состояний равновесия происходит формирование пространственно-неоднородного рельефа, в том числе и волнообразного нанорельефа.

Book Details:

ISBN-13:

978-3-659-75469-2

ISBN-10:

3659754692

EAN:

9783659754692

Book language:

Russian

By (author) :

Александр Рудый
Алена Метлицкая
Анатолий Куликов

Number of pages:

96

Published on:

2015-10-01

Category:

Analysis